二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #189322 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 HT是為III-V基半導體材料的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）而設計的經過生產驗證的反應堆設備。該系統是為實現最佳沈積性能而設計的，能夠實現超高增長率。AIXTRON AIX 2800G4-HT可以在大氣和高壓應用中運行,根據所需的晶體結構和材料特性,可以最佳地選擇生長條件。AIX 2800G4 HT由一個與氣體輸送單元相連的反應室、一個電源和一個裝在高溫低溫恒溫器中的過程控制器組成。該反應室的設計是為了在原料和底物之間建立最佳的熱梯度，以達到所需的材料質量和工藝均勻性。反應室的幾何形狀配置確保汽化前體材料有足夠的停留時間，防止冷斑成核，提高材料質量。AIXTRON AIX 2800G4 HT采用了一種創新的雙氣體輸送機器，允許在不同的工藝條件下處理兩種不同的原料或兩種不同的氣體混合物。氣體輸送工具可以支持受控的載氣流動，以及脈沖或連續註入反應性氣體以形成所需材料。精確的氣體輸送控制還允許以極高的沈積速率沈積材料，並可選擇比標準反應堆高出兩個數量級。AIX 2800G4-HT還配備了高溫石英窗口，用於對沈積物料進行現場監測。窗戶采用低壓防反射塗層增強，使沈積材料的光學性能得到改善。AIX 2800 G4 HT還包含先進的電力供應資產，專門為沈積過程的高效運行而設計。此外，AIXTRON AIX 2800 G 4 HT配備了強大的工藝控制器，可以在操作過程中精確調整工藝參數。該工藝控制器能夠記錄和存儲實時工藝參數，確保了重復可靠的沈積結果。流程控制器還提供直觀的圖形用戶界面（GUI）,具有報警和遠程界面功能等功能。AIX 2800 G4HT針對優質III-V材料的沈積進行了優化，使其成為工業規模沈積應用的絕佳選擇。該模型的精確氣體輸送設備、高溫石英窗、高效供電，以及強大的工藝控制器，確保了所需材料的可靠和可重復沈積。AIXTRON AIX 2800 G4 HT是III-V光電和功率器件制造的理想選擇。