二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #293758235 待售
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AIXTRON AIX 2800 G4 HT是開發生產先進技術薄膜的高通量反應堆。AIX 2800采用單晶片原位氣體混合技術,能夠精確沈積無汙染和缺陷的薄膜。它包括最先進的晶片間定時和溫度均勻性特征,以確保一致的薄膜性能。AIX 2800還具有獨特的Turbo(兩層薄膜)峰值功率模塊,可在高溫下實現薄膜沈積的最大穩定性。AIX 2800設計用於單晶片和基材的生產。包括用於精確溫度控制的高科技加熱設備,以及用於薄膜可重復、清潔和可控沈積的專用熱氣電池和氣體混合部件。AIX 2800還融合了強大的射頻和磁控濺射源以及易於使用的觸摸屏控制。該系統可以在各種關機和啟動條件下運行,以優化單元壽命和產品性能。此外,AIX 2800還提供了高度的靈活性和定制選項,使其能夠滿足各種薄膜沈積應用程序的特定需求。AIX 2800還采用了專利裝載機盒設計,在裝卸操作過程中最大限度地提高安全性和可靠性。它包括一個高效率的爐級聯機,確保整個基板或晶圓均勻的溫度分布。AIX 2800能夠對薄膜沈積進行敏感的溫度控制,具有良好的表面均勻性。此外,它還能夠自動裝卸操作,以及定制的基板處理和基板轉移。AIX 2800支持許多高級工藝能力,包括晶片對晶片和基板對基板熱處理。它具有先進的氣體混合和工藝監測功能,設計用於處理單室的低溫和高溫沈積。此外,AIX 2800可容納各種反應堆和射頻功率配置選項,並且可以輕松升級以滿足不斷變化的市場要求。該工具被設計為最佳地執行一些特定的薄膜工藝,如介電膜、反射器、鈍化層、光學和電氣屏障層以及金屬和聚合物層。AIX 2800是先進薄膜沈積的理想反應器,具有優良的工藝控制、均勻性和可重復性。該資產適用於汽車、航天、醫療器械生產等高端產業,是復雜錯綜復雜的薄膜沈積的理想之選。其強大的性能、用戶友好的控制面板和自動化的流程選項使其成為希望提高效率和降低成本的公司的理想選擇。
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