二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9123393 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 HT是為GaAs、InP和GaN等復合半導體的沈積和加工而設計的最先進的生產反應堆。這種設備可以使這些材料以高生長速率和優異的層均勻性沈積。該系統的反應堆配置專門設計用於單批執行高達800毫米晶片的大型運行。AIXTRON AIX 2800G4-HT利用水平石英氣體分布板，將反應氣體均勻地分布在整個基板上，以提高均勻性。高度靈活的負載鎖裝置提供了無與倫比的便利，並且允許在負載室和加工室之間運輸，而不會破壞真空。AIX 2800G4 HT具有加熱淋浴頭和8級可控溫度分布，可優化沈積性能和層質量。為了提高均勻性，反應堆配備了快速移動的敏感器，以提供層均勻性和最佳的床均勻性。其他特點包括集成壓力控制機，它允許對廣泛的基板和工藝條件進行精確的氣體控制。負載鎖還配備了紫外線吹掃燈，保證進入反應室前的高清潔水平。AIX 2800G4-HT還集成了智能配方軟件，通過自動流程優化功能優化工具性能。此外，AIXTRON AIX 2800G4 HT設計用於安全操作，具有防止反應氣體逸出到工作環境中的安全密封室。該資產還利用閉環再循環模型來減少劇毒反應氣體的使用。它符合或超過所有適用的安全標準，讓用戶在操作設備時安心。綜上所述，AIX 2800 G4 HT是為復合半導體的沈積和加工而設計的強大、高度精確的生產反應堆。它提供了快速、均勻的沈積，集成的壓力控制和紫外線清洗燈，以提供卓越的層質量和清潔度。AIXTRON AIX 2800 G4 HT具有優化的設計和集成的安全特性,是半導體行業用戶的寶貴工具。