二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9222201 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一種用於生產復合半導體材料的高通量（HT）反應堆。它是一種用於材料研發、工藝優化和多材料裝置制造的外延生長工具。AIXTRON AIX 2800G4-HT是一種雙晶圓水平設備，溫度範圍高達800°C，自動反應氣體控制。AIX 2800G4 HT具有高級高通量處理功能,允許一批處理多達200個晶圓。它具有多種分子束外延（MBE）過程，包括化學束外延（CBE）和分子層沈積（MLD）。此外,AIXTRON AIX 2800G4 HT可以適應物理氣相沈積（PVD）過程,如原子層沈積（ALD）和自旋沈積（SOD）。這種靈活性使AIX 2800 G4 HT成為復雜過程和應用（如異構制造）的理想選擇。AIX 2800 G4 HT具有自動化的多區加熱功能,可在整個晶圓表面實現精確而均勻的處理溫度。該系統還提供自動化的原位氣體分析能力，以進行工藝優化。它可以監測氮化和氧化過程、氮氧化物沈積以及金屬和有機物的沈積。AIX 2800G4-HT能夠以高精度和分辨率測量反應氣體。AIXTRON AIX 2800 G 4 HT的機箱具有先進的安全性和安全性,包括集成的氦氣泄漏檢測器和安全關閉開關。它還配備了一個自動化流程和記錄單元，記錄流程運行中的所有信息，包括氣體使用和溫度。此外，該機器還提供了廣泛的軟件工具，用於開發和優化過程和材料。AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一款功能強大、靈活的復合半導體加工工具，能夠進行多種生長過程。其先進的工藝能力、自動化的氣體控制和原位氣體分析使其成為設備制造、材料研究和工藝優化的理想工具。