二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9226650 待售

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製造商
AIXTRON
模型
AIX 2800 G4 HT
ID: 9226650
晶圓大小: 6"
MOCVD System, 6" Configuration for: 6 x 6" (7 x 2").
AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一種商用沈積反應堆,設計用於半導體和微電子工業的材料生產。AIXTRON AIX 2800G4-HT是一種高溫沈積反應器,這意味著它能夠在高達1000 °C的溫度下運行。AIX 2800G4 HT具有先進的設計,可以精確控制沈積過程。材料生長發生在二維矩形反應堆腔內。該室配有四個單獨的沈積過程源。AIXTRON AIX 2800G4 HT實現了廣泛的沈積技術,包括化學氣相沈積(CVD)、原子層沈積(ALD)和分子束外延(MBE)。在性能參數方面,AIX 2800 G4 HT提供了高水平的準確性和可重復性。它配備了先進的控制系統,輻射範圍廣,沈積速率均勻。最大基板尺寸為95毫米。腔室設計的徑向和軸向均勻度為+/-3%。反應器中的壓力可以調整以達到一致的沈積速率。AIX 2800 G4 HT具有多種安全功能,包括消除高溫暴露的安全快門,以及在發生任何嚴重問題時的緊急關閉系統。該系統還設計有充足的通風和過濾,以確保組件的最佳運行。AIX 2800G4-HT在電子工業中有廣泛的應用。其中包括生產薄膜晶體管、電化學電容器、場效應晶體管、集成電路和平板顯示器等。AIXTRON AIX 2800 G4HT是一種高效可靠的工業制造應用沈積反應器。
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