二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9256336 待售
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ID: 9256336
優質的: 2011
MOCVD System
Capacity: 42x2", 11x4", 6x6"
Wiring: 4-Wire with Ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一種先進的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器。它是一種沈積設備，使用化學來源，例如金屬/有機前體，來制造納米級薄膜和結構。該系統設計用於制造異質和均質材料，如半導體晶體、薄膜、納米顆粒和相關納米結構。AIXTRON AIX 2800G4-HT利用高溫制造高質量、均勻的薄膜。AIX 2800G4 HT是一種高通量的高溫沈積裝置.它配有石英石英器室，可容納4英寸晶圓和8英寸晶圓。本機提供低壓MOCVD（LP-MOCVD）、大氣壓MOCVD（AP-MOCVD）、超臨界流體（SCF）沈積等多種沈積過程。它還能夠處理高達25nm的材料吞吐量。AIXTRON AIX 2800 G4HT采用內置反應性氣體控制工具設計。這一資產為各種薄膜和基板提供了廣泛的氣體流速、溫度控制和壓力控制。該模型還配備了廣泛的過程能力，用於控制反應溫度、傳播速度、沈積速率等沈積過程的關鍵參數。此外,AIX 2800G4-HT還設計了一個用於過程監視和控制的選項。其內置的過程監測設備允許對沈積條件、氣體流量、基板溫度、薄膜厚度等沈積過程的不同方面進行實時監測。AIXTRON AIX 2800G4 HT還配備了配方庫，可用於存儲和召回沈積配方，用於可重復的工藝操作。總體而言，AIX 2800 G4 HT是一款多功能系統，提供用戶友好、優質、高產的光電器件、電子器件以及相關納米結構。它是一個符合膠片質量、均勻性和吞吐量等行業層面標準的可靠單元，幫助研究人員和制造商創造出可用於廣泛應用的材料。
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