二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9256418 待售
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ID: 9256418
優質的: 2011
MOCVD System
Capacity: 42x2", 11x4", 6x6"
Wiring: 4-Wire with Ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4HT是一種主要用於半導體外延領域的前沿反應堆設備。該系統能夠實現大面積的增長,從而能夠生產功能尺寸較小的全芯片CMOS和光電設備。AIXTRON AIX 2800G4-HT是一種水平高通量淋浴堆，具有三區設計，由一個較低的預熱器、一個高溫生長室和一個換熱器組成。在高溫生長室中，可以精確保持和控制高溫低壓。高通量淋浴頭保證了熱解管的均勻氣體流速和良好的氣體均勻性，其設計目的是減少室內汙染，並比傳統系統產生更少的顆粒。AIX 2800G4 HT配備了可靠的過程控制和監控系統，用於精確的層厚度控制和提供與層組成有關的參數的詳細反饋。其原位分析系統提供晶格結構和生長過程中層組成的實時信息。AIX 2800 G4HT提供了一系列控制基板的選項，包括用於均勻沈積的淋浴頭、溫度範圍高達1100攝氏度的靜態基板支架、兩級平臺升降機以及自動基板交換機構。為了獲得最高效率,基板滑塊配備了RTP（快速熱處理）選項,溫度範圍可達1045攝氏度。AIXTRON AIX 2800G4 HT是一種功能強大且可靠的設備,非常適合生產應用。這臺機器能夠生產各種材料，質量和可重復性都很好，是大容量半導體制造工藝的理想選擇。利用用戶友好的控制工具,用戶可以輕松調整和監控其增長運行的參數,以獲得最佳結果。AIXTRON AIX 2800 G 4 HT為可靠操作配備了廣泛的安全功能，如互鎖、報警器和內置的安全基板支架。
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