二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9302603 待售

來自AIXTRON的AIXTRON AIX 2800 G4HT系列反應器利用高溫工藝沈積了III-V和III-V類化合物、金屬和電介質等薄膜材料。它結合了極高的沈積速率和高質量的沈積層，極精確的過程控制，低維護，以及對過程引起的振動的免疫力。這使得AIXTRON AIX 2800G4-HT系列反應堆在先進的半導體和光電器件生產中為高通量工藝進行了優化。AIX 2800G4 HT系列反應堆具有過程自動化、強大的過程控制能力和高速EFEM控制功能。反應堆還提供了高功率、極低工藝溫度、大面積沈積和無與倫比的空間分辨率的獨特組合。這使得它非常適合對高吞吐量、周期時間短或對均勻性和無缺陷增長有嚴格要求的應用程序。AIXTRON AIX 2800 G 4 HT系列具有直徑為2.8英寸、高度為0.255英寸的熔點和感受器。這使得反應堆能夠以精確和均勻的方式沈積層。ECM控制設備還采用了熱壁爐設計，提供了高精度和重復性的均勻爐溫。該反應堆還采用了獨特的、精心設計的雙氣體控制系統，用於高質量的沈積。雙氣體控制單元的主要特點包括氣體供應穩定性高、氣體活化快、多余氣體自清潔、實時監測/控制過程參數能力等。這一尖端反應堆還提供了改進的性能和安全特性。它配備了一個創新的惰性氣體級聯機，確保操作過程中的安全和減少停機時間。它還配備了基於人工智能的數據分析和過程監控功能，從而改進了過程控制和優化。AIX 2800 G4 HT系列反應堆是發展高通量、高參數先進設備的理想工具。它提供一流的性能,以及自動化和精確的控制、安全功能和大面積沈積。