二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9305773 待售

AIXTRON AIX 2800 G4HT是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，設計用於先進材料的高效可靠的異質結構生長和沈積。這種精密的沈積裝置具有一個具有熱墻設計的四區工藝室。其先進的溫度控制環路確保了高質量異質結構的精確重復沈積條件。AIXTRON AIX 2800G4-HT還提供了一系列功能,以最大限度地提高用於制造LED、激光器、太陽能電池和電子設備的不同類型材料的高純度沈積工藝窗口。AIX 2800G4 HT的第一個關鍵特征是其四區加工室。這種布置允許更有效的過程控制，減少整個晶片的熱梯度，提供更均勻的沈積性能。該工藝室還配備了加熱的轉移臂，這使得底物可以快速轉移進出反應室，而不會使晶片暴露在過高的工藝溫度下。此外,AIX 2800G4-HT還具有先進的溫度控制回路,可快速適應壓力變化和基板方向,以保持在所需的目標溫度範圍內。AIX 2800 G4HT還為不同的沈積應用提供了一套先進的沈積參數，以最大化過程窗口。它配備了最多五個可用於不同沈積配方的雜交淋浴頭。其先進和高效的氣體輸送設備允許將前體均勻分配到工藝室，而先進的工藝監測系統則有助於保持工藝參數與最佳生長配方保持一致。AIXTRON AIX 2800 G4HT還提供了高效的基板處理機制。它具有兼容的旋轉單元，允許同時、獨立地處理多達三個基板，從而實現高吞吐量。高精度機器人確保晶片在工藝室內的精確定位，以實現長期穩定運行。最後，它的集成過程控制軟件是用戶友好的，並提供了一系列先進的自動化功能，以減少操作員的幹預。AIXTRON AIX 2800G4 HT是一種先進的MOCVD反應堆,經過優化,可為LED、激光、太陽能電池和集成電子等多種應用提供可靠和可重復的沈積性能。其四區腔室提供了對工藝參數的精確控制，而其先進的溫度控制環路和自動處理機則確保了高效可靠的沈積操作。