二手 AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT #9135752 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT反應堆是一種用於先進外延和增長應用的高性能、可靠的反應堆。它旨在提供從過程開始到完成的高級控制、精度和準確性。憑借這一模式，AIXTRON憑借高產可靠的優質材料生產，確立了自己在該領域的領先地位。AIX 2800 G4 ICHT反應堆是一種多區設備，提供精確的溫度控制和廣泛的過程條件，具有高度的重復性。此型號提供193個處理室,允許更大的機櫃和更快的加載時間。此外，它還有一個集成的流程控制和數據采集系統，可以實時監測所有流程參數。該單元還支持高級晶圓處理、計量和晶圓卸載功能。多用途反應堆設計使金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）技術得以使用，在整個基板表面提供了出色的均勻性和階梯覆蓋率。此模型還提供平面化技術,允許無需任何額外處理即可生成復雜的設備體系結構。內置湍流板，晶體生長是一致和均勻的-甚至跨越大晶片。AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT反應堆采用高精度旋轉傳動和碳酸鹽巖工藝室設計，提供惰性、穩定的工藝環境。該模型還具有EQCU（外延石英晶體）功能,可提供低壓過程控制,從而創造經濟高效且可靠的過程環境。反應堆在閉環穩定機器上運行，提供最高水平的過程控制和精度。總體而言，AIX 2800 G4 ICHT反應堆是一種先進的工具，在外延和增長應用中提供無與倫比的性能和產量。它提供193個處理室和集成的控制和數據采集資產,提供精確的溫度控制、廣泛的工藝條件以及均勻的晶體生長。利用先進的旋轉驅動和碳酸鹽巖工藝室，該模型提供了一個惰性、穩定的工藝環境，可實現準確、經濟高效的增長。