二手 AIXTRON AIX 2800 G4 TM #9381792 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 TM是為生產復合半導體材料而設計的先進反應堆。這臺高端機器被用於研究開發用於生產氮化氙（GaN）及相關材料的創新工藝，是全球領先的磷化超（InP）應用平臺。AIX 2800 G4 TM的模塊化設計包括四個獨立的流程模塊。這些是基板預處理模塊、巡洋艦高流量III模塊、工件加熱模塊和塗層可調同心性和均勻性（CAU）模塊。基板預處理模塊可提供高達600°C的均勻基板加熱,並允許對基板進行預退火,以確保最佳成膜。Cruiser High-Flow III模塊可實現高均勻性和快速處理能力。該模塊設計用於精確管理和傳輸晶圓。Coater的可調同心性和均勻性模塊可確保在多個工藝步驟中精確調節薄膜厚度。該模塊能夠在高氣體流量下進行可靠、可重復的薄膜塗層。AIX 2800 G4具有許多過程控制功能,例如實時用戶界面,有助於優化沈積過程。它還提供溫度和壓力控制以及過程的自動化。AIX 2800 G4配備了安全特性，包括短路保護和超溫控制，使其成為市場上最安全的反應堆之一。AIX 2800 G4旨在為複雜材料的生產提供精密和可重複性的穩定性和可靠性。它針對多種工藝進行了優化，從生產III-V化合物材料到低溫金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）。AIX 2800 G4提供靈活的基板配置和一系列功能,以及領先的技術和功能升級,是滿足工業生產需求的理想之選。