二手 AIXTRON AIX 2800 G4 #9248919 待售

AIXTRON AIX 2800 G4是為生產具有先進半導體加工能力的III-V半導體材料而設計的外延反應堆。它是一種單一的晶片設備，提供均勻、低溫的摻雜型材，提高了工藝產率。AIXTRON AIX2800G4具有四晶片容量,具有高溫氧化錫塗層感受器,可在基於MOCVD和OMVPE的過程中有效控制溫度。該反應堆采用具有平衡壓力系統的高性能、低維護石英室，用於長期穩定和工藝參數的精確控制。該裝置能夠精確、可重復和精確的過程控制參數，從而實現可重現的結果、異常的溫度均勻性和精確的摻雜輪廓。此外，AIX 2800G4還配備了可編程的多區溫度控制器，可精確控制工藝室溫度分布。這樣可以精確優化工藝參數以獲得最佳結果。該機還配備了石英對流增強排氣工具，用於增強MOCVD和OMVPE工藝控制和性能。AIX 2800 G 4配備了全面的用戶友好工藝軟件包，用於III-V材料的整體集成。資產包括方便晶片掩模加載的噴嘴和運輸模塊，便於監控的基於AIXTRON GUI的可視化過程控制軟件，以及實時溫度和壓力剖面。該模型還為安全和環境安全標準而設計，因為它配備了A級過濾器和疏散設備以及排氣系統，以便從工藝室內清除有害物質。此外，AIX2800G4設計用於在惡劣的實驗室環境中可靠地運行，其緊湊程度足以適應標準實驗室或辦公室環境。總體而言，AIXTRON AIX 2800G4是一種先進的反應堆，旨在提供過程穩定性、可靠性能和最高安全性的可重復性，使其成為工業和研究應用的理想工具。