二手 AIXTRON AIX 2800 G4 #9286299 待售

AIXTRON AIX 2800 G4是制造先進半導體結構的最先進、緊密耦合、強制流動、液體反應室。這一設備的主要特點包括一個前開式鎖載室、自動源室快門操作、遙控源定向和第三代LPCVD工藝室。AIXTRON AIX2800G4旨在提供卓越的薄膜性能和優異的材料吞吐量,使該系統非常適合廣泛的亞微米應用,包括高級光刻、MEMS、光電、Power-MOS和CMOS結構。該裝置提供了每小時80晶圓的有效加載速率和集成的無功流動機，提供了高度一致的結果。它以高架地板工具為基礎，可進入各種靈活的機器人和房間。AIX 2800G4可以執行四步源蒙太奇序列與源臂設計執行精確源定向和溫度穩定。該資產還提供高級溫度控制功能,以提高整個工藝距離的均勻性。LPCVD工藝室裝有射頻加熱和氫氣及加工氣體，使各種材料得以高效沈積。高精度的厚度控制具有極好的重復性和沈積互連層結構的能力。AIX 2800 G4是當今市場上最先進的半導體結構反應堆之一。它具有先進的自動化、高吞吐量和可靠的現場監控功能,使用戶能夠生產高質量、先進的半導體器件。該模型還易於維護,使其能夠在停機時間最短的情況下使用多年。該反應堆非常適合研究實驗室、半導體制造商和尋求生產先進半導體器件的大學。