二手 AIXTRON AIX 2800 G4 #9394717 待售

AIXTRON AIX 2800 G4是一種低壓化學氣相沈積（CVD）反應器，有助於促進制造用於生產各種先進基材的薄膜的過程。這種用途廣泛的反應堆能夠沈積多晶矽和納米材料等各種材料，同時為用戶提供一些好處，包括低熱預算、增加沈積速率和更安全的操作。AIXTRON AIX2800G4由一個溫控反應室組成，以及一個快門、等離子體發生器和平面盒式磁帶。溫度控制反應室通常由石墨散熱器、陶瓷隔熱器、感光器和兩區二氧化矽熔融石英套組成。可以安裝垂直執行器來手動定位基板,並允許使用不同的基板。快門由精密螺桿驅動控制，用於調節材料沈積過程。等離子體發生器提供反應物化學吸附所需的能量，並且設計為提供非常局部化的等離子體。平面盒式磁帶提供各種基板的載體，而不必改變磁感器。為了確保安全運行和高效生產，AIX 2800G4包括PIR傳感器和壓力傳感器等安全系統。PIR傳感器檢測任何強輻射，而壓力傳感器則用於監測反應堆內部的壓力，並在不再處於運行極限時向用戶發出警報。AIXTRON AIX 2800G4還擁有許多用戶友好的功能，如自動系統接口，以及觸摸屏操作員界面，用戶可以在其中訪問過程參數和反應堆設置條件等信息。AIXTRON AIX 2800 G 4是一種用途廣泛、可靠的反應堆，適合為多種先進基材沈積多種材料。它為用戶提供低熱量預算，增加沈積率和提高安全性與安全系統和用戶友好的特點。AIX 2800 G4是一種理想的低壓化學氣相沈積反應器，適用於廣泛的應用。