二手 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9222508 待售

AIXTRON AIX 2800 G5 HT是一種高通量、大容量的金屬有機氣相外延（MOVPE）反應器。它是為III-V化合物半導體材料的生長和成核而設計的，如砷化氙和砷化氙，用於生產LED和太陽能電池等光電器件的元件。AIXTRON AIX 2800G5 HT是結合了先進反應堆設計、功能豐富的硬件和本機控制軟件的統一設備，提供卓越的性能，同時需要較低的維護成本。它有一個環形反應堆腔室，在大面積晶片上促進均勻的材料生長和均勻的層質量。可以獨立控制五個單獨的前體和摻雜物來源，以優化生長參數，而內置加熱器、供氣系統和壓力調節器則允許精確調整流量。該系統還包括電源、排氣鼓風機和冷卻裝置。AIX 2800 G5 HT提供了一種先進的加熱機器，旨在在旋轉室內部建立一個均勻的溫度分布。它以可調節的斜坡速率提供非常精確的溫度調節，確保即使是大晶片也有完全均勻的溫度。其工藝控制保證了復雜的多異質結外延結構的高質量外延層，窄層公差小於2納米。AIX 2800G5 HT還提供了一系列增強工具性能的附加功能。其精密對準資產便於晶圓以精確角度安裝在石英或石墨敏感器上，從而產生頂層均勻性。該模型還具有先進的校準軟件，允許對樣品板進行精確和可重復的定位。為了保持設備內部的清潔，其高效過濾系統確保前體和摻雜劑在引入反應堆之前是幹凈的。此外，氣體動態快門有助於減少泄漏的前體氣體或副產品造成的汙染。總體而言，AIXTRON AIX 2800 G5 HT是一種先進的高速MOVPE反應堆，非常適合生產高容量的III-V復合半導體元件。它提供卓越的工藝和層級控制,具有出色的均勻性、穩定性和可重復性,所有這些都是在直觀和集成的單元中進行的。