二手 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9226657 待售

AIXTRON AIX 2800 G5 HT是一種高性能的反應性離子蝕刻（RIE）反應器，設計用於大規模底物的精確蝕刻。AIX 2800能夠同時進行低能（LE）和高能（HE）蝕刻,這一特性使它能夠提供最大的靈活性和工藝精度。AIX 2800配備了一臺13.56 MHz的發電機和一個提供多層陰極/QCM控制的空腔。這種配置提高了蝕刻工藝的均勻性，提高了晶片表面的蝕刻均勻性，提高了可重復性。AIX 2800還具有雙負載鎖、多級泵裝置、帶實時溫度監測的腔室溫度控制系統以及內置的PLC和施耐德電氣伺服控制器。此高級功能集允許運行具有高重復性和準確性的多級蝕刻配方,以及增強的自動化和過程系統控制。AIX 2800還采用了現場殘留氣體分析的最新技術。該系統利用附著在工藝室的質譜儀來分析該室大氣的成分，以優化每個工藝階段的蝕刻性能。AIX 2800的多功能蝕刻功能、先進的功能以及與各種基板的兼容性使其成為半導體、MEMS和LED行業生產設施的理想蝕刻工具。它是制造過程中降低成本、提高設備產量的一種高效可靠的工具。