二手 AIXTRON AIX 2800 G5 #9358478 待售

AIXTRON AIX 2800 G5是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，用於生產復合半導體。該反應器的設計目的是對厚度降低到單層的復合層進行精密沈積。其設計包括一個能夠承受高溫和超高真空（UHV）環境的自動反應室，以及一個五英寸、高溫和UHV基板支架。這允許生產符合最高質量標準。AIX 2800 G5是一款全彩色系統，使用專有的LED和數字成像系統實時監控膠片增長。因此，其短期精度水平為0.005 nm（50 pm），長期精度水平為0.01 nm（100 pm）。該設計允許將背景壓力調整至5x10-7 mbar,並將工藝壓力設置為8-60 mbar。再者，反應室可以支撐25-900°C之間的溫度，這取決於工藝應用。AIXTRON AIX 2800 G5融合了雙快門設計，每個快門獨立控制。這允許在同一腔室中沈積來自同一來源的兩種材料。此外，反應堆能夠進行批處理和連續處理，這取決於應用的需求。在安全方面，AIX 2800 G5是用外殼打造的，以防止危險材料。此外，反應室內和周圍還存在環境傳感器。當任何參數發生變化時,這些傳感器都會不斷監視流程環境並提醒操作員。這有助於確保安全高效的操作。總體而言，AIXTRON AIX 2800 G5是生產復合半導體的強大工具。它是將金屬-有機化學氣相沈積（MOCVD）與雙快門設計相結合，為精密沈積而設計的，使得復雜的作業能夠在一個室內完成。該設備還具有對薄膜生長和環境傳感器的精確監控功能,以確保操作員和設備的安全。