二手 AIXTRON AIX G5 HT #293594749 待售

AIXTRON AIX G5 HT是一種高通量反應堆，設計用於提高生產復合半導體材料的產能。該反應堆以熱壁CVD的先進技術為基礎，允許為復合半導體應用高質量、高產的外延層生產。該設備提供了幾種獨特的功能,例如可編程氣體成分設置、每種氣體的獨立流量控制以及用於定制工藝條件的可編程區域溫度。反應堆設有基板加熱用加熱卡盤、工藝區內的熱墻和垂直加爐機構，為復合半導體層的可重復可靠生產提供了理想的平臺。該反應堆的設計是專門生產AlGaAs、AlInAs和InGaAs等材料，這些材料需要復雜的工藝配方，並對氣體成分、氣體流量和溫度進行精細調整。AIXTRON AIX G5HT反應器能夠在熱壁上提供均勻的基板溫度，有助於控制工藝參數，確保工藝結果的可重復性。此外，該工具還配備了模塊化掃描系統和先進的晶圓識別單元，可實現晶圓自動識別，從而在加工配方之間切換時節省了大量時間。AIX G5 HT在其加工區域內提供出色的溫度控制,其區域可調整到0.1°C以內。該機器還提供了對多達四種氣體的高精度控制，為生產精細化合物提供了經過微調的工藝條件。AIX G5 HT也可用於液相外延，允許進一步調整工藝條件，以滿足特定化合物半導體的需要。AIXTRON AIX G5 HT專為大批量應用而設計，適合工業量產的需要。AIXTRON AIX G5 HT具有高性能的氣體控制、均勻的溫度分布和工藝自動化特點，是大型復合半導體生產的首選工具。