二手 AIXTRON AIX G5 HT #9123386 待售

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AIXTRON AIX G5 HT
已售出
製造商
AIXTRON
模型
AIX G5 HT
ID: 9123386
Reactors.
AIXTRON AIX G5 HT是一種高度先進的先進沈積工具,專門為光學和顯示行業提供性能和靈活性的最高標準。AIXTRON AIX G5 HT使包括藍寶石、氮化的和碳化矽在內的多種基材的加工達到業界要求的最高厚度和均勻性規格。AIX G5 HT是一種熱管系統,或稱熱壁沈積反應器,利用基板的自限表面溫度來控制表面層的溫度和沈積速率。這種不透明的沈積技術可以在各種材料上提供精確的層厚度。由於石英管內的流動保護性,沈積發生在密封環境中,提供了一個無湍流的過程,良好的熱分布和沈積特性的再現。該反應堆具有極好的模塊化和靈活性,便於維護和定制,可用於各種薄膜沈積應用,如絕緣體、電介質、導體、量子點、透明氧化物和氮化物。AIX G5 HT能夠生長具有較高厚度均勻性和大於99.99%純度的鈍化層。高沈積速率高達每秒幾百埃導致了高質量產品的快速循環時間。AIXTRON AIX G5 HT由於能夠在從特高壓到大氣的壓力範圍內運行,完全能夠迎合技術要求最高的應用。這可以由於在其工藝室內使用可燃或復合氣體如氮、氧和氫而實現。反應器還具有使用激光或加熱敏感器在加工前對基板進行調理的能力。反應堆利用觸摸屏計算機化用戶界面,借助強大的圖形建模軟件,使研究人員能夠優化其流程,創造更簡單的配方。該軟件提供了一系列工具,如配方創建、沈積過程再現和診斷,以確保沈積層的高產率和可重復性。AIXTRON AIX G5HT的設計以安全性為優先。它配備了一系列安全功能,例如在危險氣體泄漏的情況下自動撤離加工室。它還具有一個用於氣體管路的隔離閥,在緊急情況下通過停止氣體流動來防止工藝室泄漏。總之,AIX G5HT是一種非常先進、用途廣泛、可靠的光學和顯示器生產工具。能夠生產質量優良、規格最高的薄膜層。反應堆的模塊化和靈活性使其成為多種工藝的理想工具,內置的安全功能為您的所有制造需求創造了高度可靠的解決方案。
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