二手 AIXTRON AIX G5 HT #9283176 待售

AIXTRON AIX G5 HT是一種高通量MOCVD工具，用於生產III-V和基於Silicon的產品。該反應堆具有一個包羅萬象的MOCVD工藝室，其基材尺寸範圍從1.3「到8」不等。它利用廣泛的III-V源材料和/或矽前體源，使許多獨特的光電和半導體器件結構得以增長。AIXTRON AIX G5 HT包括動態壓力控制、激光工藝監控系統、射頻/加熱室輪廓控制以及自動晶圓定位和交換系統等MOCVD技術的許多AIXTRON最新進展。這確保了晶片與晶片的最高均勻性、提高的產品產量和全面的過程控制。AIX G5 HT反應堆還采用垂直磁化器設計,以提高精度和生產率。這種垂直設計可以更好地控制晶圓的平整度和溫度均勻度。它還具有全場對準/掃描系統，能夠實現精確和可重復的晶圓位置控制和更好的均勻性控制。AIX G5 HT旨在最大限度地提高吞吐量和降低成本,並結合了多種功能來提高流程效率。現有功能包括AIXTRON動態壓力控制（DPC）、基於激光的過程監控系統、射頻/加熱室輪廓控制以及自動晶圓定位和交換系統。AIXTRON AIX G5 HT還為基於III-V和Silicon的產品支持廣泛的基板,包括單面和雙面MOCVD工藝。這樣可以提高產品設計的靈活性,提高產量。AIXTRON AIX G5 HT為滿足當今最先進的光電和半導體器件生產的所有質量控制和效率要求,提供了復雜的過程控制和監控功能。這些功能的範圍從標準流程配方到更復雜的基於數字邏輯的流程控制算法,您可以設置自定義流程配方,以實現復雜產品設計的最大靈活性。總之，AIX G5 HT是專門為III-V和矽基產品的高通量MOCVD處理而設計的先進反應器。它結合了MOCVD技術的最新進展，以產生可重復和可靠的結果，提高產量。憑借其垂直磁化器設計、動態壓力控制等眾多功能,它是當今最先進的光電和半導體器件生產的理想工具。