二手 AIXTRON AIX G5 HT #9283177 待售

AIXTRON AIX G5 HT是一種用於生產微波等離子體增強化學氣相沈積（MPECVD）工藝的最先進的連續流動、行星轉子高通量反應器（HTR）。它是為高速率沈積具有優異緯度和選擇性的材料而設計的。該反應堆能夠在恒溫和氣體控制下提供高通量速率（最多20晶圓/分鐘）。AIXTRON AIX G5 HT旨在改進現有的生產操作,從而為客戶提供一條高精度、高速度的生產線,具有可靠的產量和成本效益。AIX G5 HT是一種低壓、垂直取向的不銹鋼反應器，頂部為圓頂，蓋有水冷。反應室內部裝有行星旋轉盤和兩個固定式氣體入口歧管。圓盤用於在沈積過程中旋轉單個晶片。氣體入口使整個晶圓表面的加工氣體均勻分布,從而實現均勻性和高通量能力。AIX G5 HT常用RF或微波功率實現等離子體增強和蝕刻操作。射頻功率由功率範圍從10瓦到350瓦的可調發電機產生。先進的診斷系統提供對所有工藝參數的實時監測和控制，如功率、反應物流動、溫度和其他關鍵氣相特性。AIXTRON AIX G5 HT與傳統的批式反應堆相比有許多優點。它具有內置的晶片自動監控系統，能夠檢測晶片在基板上的缺陷和缺陷。它還有一個內置的基板加熱系統，可以在沈積過程中精確控制基板溫度。此外,AIXTRON AIX G5 HT還配備了一系列傳感器和閥門,以確保過程控制和一致性。AIX G5 HT適用於包括GaN、GaAs、InP、光伏、MEMS等多種化學氣相沈積/蝕刻應用。借助易於使用的圖形用戶界面，AIX G5 HT可以輕松融入生產環境。AIXTRON AIX G5 HT提供的各種工藝參數確保了經濟高效、靈活、可靠和高吞吐量的生產系統。