二手 AIXTRON AIX G5+ #293657949 待售
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AIXTRON AIX G5+是一種高性能化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於III-V復合半導體材料、納米顆粒、薄膜多層等器件的沈積。該設備由堅固耐用的部件構成,非常可靠,可提供出色的正常運行時間和工藝產量。AIX G5+反應堆有一個用於沈積材料的大的、封閉的腔室,直徑可達1.1米,高度可達0.7米。腔室被溫度控制和氧氣凈化的環境包圍,可以設置和調節,以確保最佳的過程環境。密封腔室並控制壓力,以保護精細加工材料形成外部汙染。腔室內部具有耐高溫特性,具有高性能加熱元件,配有自己的溫度控制器,隨時可在各種工藝模式下操作,如脈沖或連續流動,水平或垂直方向。該室還設計用於在整個正在加工的材料中提供均勻的溫度,從而在大面積上提供高質量的沈積物。AIXTRON AIX G5+反應堆還具有先進的自動定位系統,可以旋轉用於材料沈積的部件。這樣可以增加用於沈積過程的參數數量,從而可以沈積更具挑戰性的材料,例如需要不同金屬化步驟的材料。AIX G5+具有很高的可靠性,具有良好的正常運行時間和工藝產量。其先進的軟件和用戶界面保證了高效和優化的批處理,並準備好了針對特定應用程序的配方,以便快速準確地部署。此外,該單位可以很容易和迅速地得到維護,同時可以在當地迅速獲得支助。總之,AIXTRON AIX G5+是一種可靠、高性能的反應器,非常適合多種III-V復合材料、薄膜多層和納米顆粒的沈積。其先進的機器和用戶界面保證了易於維護和批量處理,為高重復和一致的結果。該工具是高度可靠的,旨在提供出色的正常運行時間和工藝產量,使其成為沈積具有挑戰性的材料的理想工具。
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