二手 AIXTRON AIX #9409484 待售
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AIXTRON AIX是由德國主要半導體設備制造商AIXTRON SE生產的化學氣相沈積（CVD）反應器。AIX反應器用於生產矽、二氧化矽和摻雜矽等薄膜半導體材料。AIXTRON AIX反應器以金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）技術為基礎，可用於大氣壓力化學氣相沈積（APCVD）、低壓化學氣相沈積（LPCVD）和高壓化學氣相沈積（HPD）三種CVD模式。該反應堆設計用於生產所有材料的CVD的單一來源。它采用兩級工藝，第一級為反應物預熱室，第二級為反應室。預熱室由感應爐加熱至所需工作溫度。反應室由燃氣紅外燈加熱。反應點將過程氣體引入反應器。該過程由精確的控制系統管理。AIX反應器能夠產生定義厚度和精確幾何形狀的高質量薄膜。反應器中的超清潔環境保證了極好的均勻性和可重現的光學和電氣性能。薄膜可以單層或多層生長，常用於制造半導體器件如晶體管、二極管等有源和無源電子元件。AIXTRON AIX反應堆有幾種型號，包括標準AIX600、AIX1200和AIX1800。每種型號都提供了更高的性能特性和擴展能力。AIX1200和AIX1800提供了更大程度的過程自動化和靈活性。反應堆還可以配備自動光學監測系統來測量正在生產的薄膜。AIX是一種可靠且用途廣泛的反應堆，具有高度的控制和靈活性。以及用於制造半導體，也可用於生產其他薄膜如介電、反射和透明的光學元件層。該反應堆非常適合大批量生產，適用於潔凈室環境。
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