二手 AIXTRON AIX200 / 200RF #293759012 待售
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ID: 293759012
晶圓大小: 2"
優質的: 2004
MOCVD System, 2"
Halogen heater
Induction heater
Dual tube
RF Coil heater
IR Heater
2004 vintage.
AIXTRON AIX200/ 200RF是由AIXTRON SE設計開發的最先進的半導體制造反應堆，AIXTRON SE是向半導體工業提供沈積設備的領先供應商。AIX200/ 200RF反應堆用途廣泛，為生產用於各種電子和光電器件的先進薄膜材料提供了廣泛的能力。這種反應器是專門為復合半導體的沈積而設計的，如氮化的移位，磷化移位（InP）等，使其成為生產LED、激光二極管、高功率晶體管等高性能器件的必備工具。AIXTRON AIX200/ 200RF反應堆采用垂直概念設計，提供了緊湊的占地面積，同時最大限度地擴大了腔室內的沈積面積。這種設計確保在半導體制造設施中有效利用空間,同時實現高吞吐量和高生產率。反應堆配有一個旋轉盤感應系統，允許在大面積基板上均勻沈積薄膜，確保生產過程中的高產量和質量。AIX200/ 200RF反應堆的一個主要特點是其先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）技術，它能夠精確控制具有高均勻性和重復性的薄膜的生長。反應堆配有產生高反應性等離子體環境的高頻射頻等離子體源，促進晶體質量和結構完整性卓越的復雜復合半導體材料的生長。AIXTRON AIX200/ 200RF反應堆提供了廣泛的工藝能力，包括在低溫下沈積薄膜，使其適合在溫度敏感的基板上集成半導體器件。該系統允許各種材料組合、多層結構和異質結構的沈積，使設備體系結構的定制能夠滿足特定的性能要求。除了沈積能力外，AIX200/ 200RF反應堆還配備了現場監測和控制系統，能夠實現實時工藝優化和反饋。反應堆與先進的過程控制軟件集成在一起，該軟件可精確調整沈積參數，確保生產過程中的結果一致且可重復。AIXTRON AIX200/ 200RF反應堆專為大批量生產環境而設計,提供強大的性能、可擴展性和易於維護。該系統采用高質量的元件和材料來設計,以確保長期的可靠性和正常運行時間,最大限度地減少停機時間,並降低半導體制造商的運營成本。總體而言，AIX200/ 200RF反應堆是復合半導體材料沈積的前沿解決方案，滿足了半導體工業對高性能、高質量薄膜沈積工藝的嚴格要求。AIXTRON AIX200/ 200RF反應堆具有先進的技術、工藝靈活性和可靠的性能，是開發和生產下一代電子和光電器件的關鍵推動因素。
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