二手 AIXTRON CCS 3X2 FT #9218419 待售
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已售出
ID: 9218419
優質的: 2012
Reactor
Process: GaAs, InP
Capacity: 3"x2", 1"x3", 1"x4"
Electrical supply with neutral and earth
Qty / Make / Part number / Description
(1) / KURT J. LESKER / QF25-100-SRV-B / -
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15279 / Nitrile O-ring OR69-6x2-4Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-10909 / Nitrile O-ring OR5-1x1-6ni70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12600 / Nitrile O-rings BS270Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15430 / Nitrile O-ring BS278Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-14436 / Nitrile O-ring OR35-5x3ni70
(4) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12593 / Nitrile O-rings BSO12N170
(20) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15346 / Nitrile O-rings OR8-6X2-4NI70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15427 / Nitrile O-ring OR57-6x2-4Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-16214 / Nitrile O-ring OR129-5X3NI70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15345 / Nitrile O-rings BS154NI70
(4) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12605 / Nitrile O-rings OR19-5X3NI70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12579 / Nitrile O-ring BS248NI70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15428 / Nitrile O-rings BS273Ni70
(3) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15429 / Nitrile O-rings BS267NI70
(1) / EBARA / - / Pump fuse
(1) / - / - / ASSY Prober kit
(1) / - / - / Screw for holding clamp
(12) / - / - / Bath lids
(15) / - / - / Mesh filters
(1) / - / - / DYMAX 5 Pump
(1) / INSTRON / CL1192B / Black body
(1) / - / - / Micro vac mini tool kit
(2) / - / - / Fuses
(1) / - / - / Thermo element, type K, 800 mm Lg
Power: 400 V, 3-Phase, 50/60 Hz, 100 A, 5 Wires
2012 vintage.
AIXTRON CCS 3X2 FT是一種通用、先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PE-CVD）反應器，旨在實現各種應用的高質量薄膜。這種反應器可以在包括氧化物、氮化物、金剛石和金屬在內的各種材料中產生厚度最高為100 nm的薄膜。適用於沈積速率高、純度高、均勻性好的工藝。該反應器有一個帶Viewports的3X2英尺不銹鋼封裝真空室，可用於實時監測沈積過程的進展。它配備了由AutoClamp系統支持的強大、高度均勻的等離子體源，減少了裝卸時間。AutoClamp系統還提供精確且可重復的基板夾緊,從而最大程度地減少了顆粒的產生。PE-CVD工藝也是通過磁控管（Magnetron）或長絲陰極（Filament Cathodes）對氣體混合物施加能量來優化，以便將前體分解成反應性物質，形成材料性能增加的薄膜。CCS 3X2 FT反應器利用先進的硬件和軟件直接控制沈積參數。該軟件具有廣泛的數據記錄功能，能夠保持和記錄溫度、壓力和沈積速率，並提供卓越的實時數據分析。此外,它還符合SEMI F47-0291標準,這有助於確保最高級別的過程控制、準確性和可重復性。該反應堆的設計可實現最大正常運行時間,並具有提高生產率的若幹功能：高級PLC控制,可實現廣泛的過程自動化,自動過程排氣,采用PID控制和自動氣體關閉的溫度控制,以及便於分析各種過程的車載診斷工具。它是小批量薄膜沈積的理想解決方案，具有較高的工藝控制水平和可靠性。其其他優點包括：沈積速率和循環時間快，能耗低，微粒產生最小，均勻性好，可變性和可定制性好，易於維護，工藝質量無與倫比。這種靈活經濟的反應器是工業薄膜沈積應用的理想選擇。
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