二手 AIXTRON CCSH 30x2 #9353180 待售

AIXTRON CCSH 30x2是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於沈積薄膜，用於多種應用。反應堆采用雙水平圓柱體設計，可實現高沈積速率和均勻性。反應堆還支持各種工藝氣體和原料，例如矽烷用於矽基層，有機金屬用於其他金屬層。CCSH 30x2設計為利用兩區熱冷墻技術在整個基板上提供最大的均勻性。這個二次腔室有助於在腔室內均勻散布底物，也能最大限度地減少原料與加工氣體之間的不良反應。反應堆配有兩個原位質流控制器，以精確控制工藝氣體的壓力。AIXTRON CCSH 30x2還具有現場監控功能。可編程掃描系統可以精確控制基板溫度，光學高溫計可以快速精確地測量基板溫度。腔室中的石英窗可用於光學測量沈積過程，如層生長速率和層組成。在CCSH 30x2中，加工室加熱至高達1000 °C的溫度。腔室充滿了一種過程氣體，如氮氣或氦氣。模型源，如矽烷和有機金屬，然後汽化進入腔室。通過操作過程氣體流速可以調節沈積速率。AIXTRON CCSH 30x2可以在批處理模式或連續過程中操作。在批處理模式下，基板被裝入腔室，過程開始，並允許沈積發生，直到程序完成。在連續模式下，基板被裝入腔內，CCSH 30x2在基板上移動時將層沈積在腔內。這允許高通量沈積，因為反應堆可以連續運行而無需手動處理底物。AIXTRON CCSH 30x2反應器由於功能廣泛、均勻性、溫度控制、基板尺寸大，是沈積薄膜材料的有用工具。它為生產高重復性、高精度的薄膜提供了一個極好的平臺。