二手 AIXTRON Crius 30x2" #293587436 待售

AIXTRON Crius 30x2是為生產多種電子器件而設計的多晶矽沈積反應器。反應堆利用先進的高頻等離子體源和燒蝕源，在各種晶片上形成多晶矽膜。Crius 30x2具有30厘米x 2米的加工室,非常適合大規模生產。該工藝室由不銹鋼制成，裝在脈沖偏置調頻電容耦合工藝室中。射頻功率通過一對石墨電極施加，這些電極連接到高頻電源。電源具有可調電壓和頻率控制級，允許不同的條件，如反應物摩爾比和底物溫度。AIXTRON Crius 30x2的工藝氣體供應是由矽烷和載氣的混合物組成，如氙氣。矽烷在腔內蒸發，反應物解離形成多晶矽膜層。腔室的溫度可以通過放置晶片的端塊的加熱功率來控制。此外,AIXTRON Crius 30x2具有集成的壓力控制功能,能夠為產品的層厚提供適當的沈積壓力。薄膜的化學和結構特性可以使用光譜學和光學編碼器等原位診斷進行監測。反應堆還設有一個集成的機器人臂裝置，用於轉移晶圓和原位監測器。AIXTRON Crius 30x2為電子設備的高質量沈積提供了可靠和一致的過程,其設計目的是在生產環境中提供卓越的性能和可靠性。其先進的設計確保了精確的過程控制和密切的監控，以確保產品質量的一致性。該反應堆為大規模生產提供了經濟高效的解決方案，適合多種生產工藝。