二手 AIXTRON Crius 31x2" #293587438 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種高端化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在滿足現代半導體和材料研究最苛刻的要求。Crius 31x2具有大面積基板容量,能夠容納直徑不超過200 mm的晶片和一次不超過兩個基板。它還支持多種源構型，允許廣泛的研究應用，包括金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）沈積、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、原子層沈積（ALD）等等。Crius 31x2提供先進的大氣控制設備,可提供準確的過程控制和可重復的功能。該系統支持對每個基板和源進行精確的溫度、壓力、氣體成分和流量調整，並對最多四個源進行獨立控制。雙遠程負載鎖定設計還允許多個過程或快速交換基板。Crius 31x2還具有一系列附加功能,例如AIX軟件套件,它允許即時優化流程。反應堆還提供直觀的用戶界面，包括高分辨率的觸摸屏顯示和直觀的軟件程序。Crius 31x2旨在確保所有流程安全、可靠且可重復。它提供強大的安全功能,包括過溫保護、壓力保護和ISO 14644潔凈室認證。Crius 31x2采用堅固的加熱和冷卻裝置,可快速調節溫度,最大溫度範圍為300 °C。該機器還具有快速的響應時間和低的熱能耗散，以確保整個晶片可重復、均勻的溫度曲線。此外,Crius 31x2還配備了集成的等離子體控制工具,可實現優化的均勻性、可重復性和較長的處理時間。此外，Crius 31x2為有效的工藝稀釋控制、多區供暖制冷以及精確的氣體或載氣流量測量提供了先進的模塊化。模塊化還包括可選的循環過程,如預熱、沈積和冷卻,以與標準程序流集成。總體而言，AIXTRON Crius 31x2是一種先進、可靠、可重復的CVD反應堆，提供高水平的過程控制和可重復能力。它提供了廣闊的應用可能性、先進的安全功能以及可優化過程時間和可重復性的自適應控制資產。