二手 AIXTRON Crius 31x2" #293587440 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種先進的MOCVD外延生長反應堆，開發用於光電和半導體生產的廣泛應用。這種反應器非常適合在各種基板上進行高性能薄膜生長，能夠精確控制厚度、摻雜和結晶質量。Crius 31x2配備了獨特的分裂口袋三區石英反應堆，在大面積上提供具有精確摻雜劑分布的高質量薄膜。該反應堆采用31x2英寸的面積，並采用分離式口袋設計，可獨立控制兩個口袋的生長溫度。每個口袋裝有兩個大功率、快速響應的交流電阻負載，最大功率為3.2 kW，溫度調諧範圍為500至1,450 °C。此外，該反應堆有兩個可變溫度區：一個用於預熱和形成基板的上層區和一個用於生長外延層的下層區。Crius 31x2包括用於控制參數的全實時控制的過程控制計算機。交流加熱元件的快速響應可以精確控制溫度曲線，精確控制薄膜中的摻雜物濃度。過程控制計算機配有高級軟件包，用於詳細的配方和數據分析。反應堆還配備了最先進的氣泵配置，對氣體成分進行自動控制，以保證質量最高、摻雜水平準確的薄膜。AIXTRON還提供可選的高級自動化功能,以最大程度地減少操作員幹預、縮短設置時間並優化增長率。該系統還包括一個耐用、有效的晶圓處理系統，用於改進基板的裝載、卸載和處理。Crius 31x2提供高質量、高度均勻的外延膜,可針對創新的設備應用進行定制。它對溫度和摻雜劑濃度的精確控制保證了光電和半導體器件的卓越性能。AIXTRON Crius 31x2固有的低維護要求、較長的使用壽命和優異的性能使其成為領先設備生產的理想選擇。