二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587441 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種低壓金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，旨在以低成本生產高質量的薄膜層。這種反應器被用於從復合半導體器件生產到固態照明的許多應用中。AIXTRON CRIUS 31 X 2是那些以相對實惠的成本尋求高性能的人的理想選擇。Crius 31x2是一個三區垂直反應堆，單300 mm石英敏感器容量。它由Varian 6100源供電，最大晶圓尺寸為2.5英寸。反應堆還包括一個水平氣體噴射器和九個氣源。其運行總壓力為10T，最高溫度為1300 °C。CRIUS 31 X2能夠產生高質量的器件層和外延結構。註入該反應器的工藝氣體包括HCl、氫氣、砷、膦、矽烷和氨。這些氣體反應形成半導體材料的氣相反應，產生電子和光學器件。AIXTRON Crius 31x2具有多種安全特性，從緊急氣體關閉系統到必要時排出危險氫氣的能力。此外,AIXTRON CRIUS 31 X 2還采用了防撞技術,以幫助防止在操作過程中發生任何意外碰撞,從而顯著降低損壞的幾率。總體而言，Crius 31x2是一個經濟實惠、高性能和安全的MOCVD反應堆。它非常適合那些希望以低成本生產優質器件層和外延結構的人。CRIUS 31 X 2是從復合半導體器件生產到固態照明等應用的可靠選項。