二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587442 待售

製造商
AIXTRON
模型
Crius 31x2
ID: 293587442
優質的: 2008
MOCVD System 2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2是一種大面積、批量制造的金屬-有機化學氣相沈積(MOCVD)反應器,生產先進的電子、光學和納米級薄膜系統。它是創建復雜、高質量的II-VI化合物層的高度通用的工具。它具有獨特的高度模塊化設計,具有一系列的生長室和可互換的組件部件。該設備特別適合開發和發展下一代復合半導體材料。AIXTRON CRIUS 31 X 2反應堆能夠每批處理多達21個晶片,同時支持各種前體材料選項。其模塊化設計使其易於配置,從而能夠快速方便地更換部件。其密封的生長室消除了材料汙染,實現了廣泛的實驗控制,提高了可靠性和優越的工藝一致性。該系統旨在提供極其精確的化學分布和溫度控制,而其先進的儲存裝置可減少前體的蒸發損失和反應性損失。該反應堆經過專門設計,可提供工藝靈活性和原子層的優化亞微米沈積,從而能夠沈積高純度的納米級產物。其模塊化構型允許廣泛的生長參數和熱解配方,從而能夠產生各種高度專業化的II-VI化合物。Crius 31x2還具有獨特且高度先進的石英源,其設計目的是提供可重復且一致的熱輻射源。該機配備了一系列安全和環境特性,包括硬件隔離和限流閥,以確保可靠的操作安全。CRIUS 31 X 2支持一系列過程優化方法,並提供數據反饋監控,從而能夠嚴格控制沈積過程。此外,該工具還采用了一系列診斷工具,如原位橢圓偏光儀、反射儀和石英晶體微天平,以便進行高效、長期的工藝監測和優化。總體而言,AIXTRON Crius 31x2反應堆是一種先進、高度模塊化和通用的工具,用於創建高質量的II-VI化合物層。其靈活可靠的設計使得它成為發展下一代光電和納米材料技術的理想選擇。
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