二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587445 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種多晶片MOVPE金屬有機氣相外延反應器，用於生長先進的III-V化合物半導體。該系統采用雙晶片磁化器設計，具有較高的工藝重復性和均勻性。AIXTRON CRIUS 31 X 2的設計最多可容納三個不同的分子源和兩個獨立的加熱器組，兩者都分別優化，以確保晶體生長的最大收率和均勻性。反應堆還配備了氣體混合站，可以精確控制工藝參數，並經常簡化工藝設置和適應不同的材料系統。Crius 31x2可以在大氣和低壓生長過程中操作，在可以實現的沈積類型上提供靈活性。可以使用的溫度範圍從環境到1000攝氏度，可以達到每小時30微米的最高增長率。CRIUS 31 X 2是一種高度通用的MOVPE反應器，能夠生產高質量的III-V復合半導體器件。使用雙晶片敏感器設計最大限度地減少了摻雜劑擴散，並允許在大容量場景中重現。由於氣體混合站提供了更多的靈活性，可以輕松生產復雜的材料系統，從而使AIXTRON Crius 31x2在當今領先的III-V復合半導體結構的生產中發揮了重要作用。