二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587446 待售

AIXTRON Crius 31x2是一個三區反應堆，用於半導體薄膜和其他材料的外延生長和沈積。AIXTRON CRIUS 31 X 2是配置有三個區的水平冷壁反應堆。設備使用RF或DC電源以單一或多源配置運行。反應堆具有先進的過程控制功能，使用戶能夠準確控制過程參數。Crius 31x2有一個負載鎖和低溫進入室，允許在安全的大氣中裝載和運輸樣品。此外，裝卸室還配備了一個烤箱，用於在引入之前對基材進行預處理。左右源均配有可移動屏蔽，用於逐區流量控制，允許對不同材料膜的通量進行獨立控制。反應堆還包括一個垂直生長區和一個底物半導體支架，它提供精確的驅動和定位。基板支架能夠將基板旋轉至360度，從而實現均勻沈積和生長。溫度控制是利用熱壁和冷壁過程加熱系統實現的，該系統可提供整個基板支架的溫度均勻性。此外,CRIUS 31 X 2還配備了車載光學單元和光譜儀。光機用於監測生長過程，光譜儀則可用於分析薄膜質量及其能量帶隙。AIXTRON Crius 31x2中也有一系列壓力，範圍介於30 mTorr和760 Torr之間。在安全性方面，AIXTRON CRIUS 31 X 2標配手動和可編程安全聯鎖，允許工具安全操作。此外,還包括遠程監視資產,它允許在操作過程中實時顯示模型狀態。此功能進一步提高了設備的安全性,並提供了高級流程監控。總之，Crius 31x2反應堆是一個強大的外延生長系統，利用先進的工藝控制、負載鎖定和基板持有者的能力，提供均勻的沈積和生長。其先進的光學單元和光譜儀可以對薄膜及其特性進行精確的分析。反應堆還包括安全聯鎖和遠程監測，進一步提高了其安全性和可靠性。