二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587447 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種高性能的金屬有機物氣相外延（MOVPE）反應器，用於生長高質量的無機材料外延層。它配備了2英寸的MnPIII平臺，設計用於在大面積上改善層均勻性。該系統非常適合生產需要在諸如發光二極管和其他電子設備等大面積上精確控制半導體層厚度的設備。AIXTRON CRIUS 31 X 2的高效生產效率和可重復性得益於一套全面的功能。這包括一種用於精確氣體輸送的類似柵格的歧管技術，它允許精確的氣體控制，在較大的區域上精確的層厚和均勻性。另外，兩個直流直流源，一個中頻高功率源，和一個高磁線圈，提供精確的控制和重現的生長條件。反應堆可以以安全穩定的方式運行，溫度和壓力範圍很廣。均質反應器室的設計旨在確保在大型基板沈積過程中良好的均質控制，並通過原位熱映射對整個晶片進行精確的溫度控制。此外，直接基板加熱系統確保整個基板區域的溫度均勻。Crius 31x2采用先進的用戶友好圖形用戶界面（GUI）設計,可實現繁瑣的手動任務自動化。它還允許用戶在增長過程中監視和手動調整機器狀態，以獲得最佳結果。用戶友好的GUI優化了流程配方和數據收集,以實現快速實驗和流程調整。CRIUS 31 X 2被設計為靈敏設備制造中最可靠、最高效的系統之一,可提供終極的過程控制和可重現的質量結果。它是工業和研究應用的理想系統，因為它為大面積的各種裝置提供穩定、高性能的外延層沈積。