二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587449 待售

AIXTRON Crius 31x2是為多種工業應用而設計的反應堆，包括半導體生產、濺射和薄膜沈積以及蝕刻工藝。AIXTRON CRIUS 31 X 2配備了創新的冷卻技術，允許低熱預算的工藝。反應堆配有兩個獨立的工藝室，這些室既可以電動操作，也可以用單一或雙氣體管線運行，以供應多種氣體，或便利LPCVD和PECVD工藝。工藝室封裝在不銹鋼真空容器中，該容器配有初級門閥、兩級真空設備、柔性氣體控制系統和變速擴散泵。此外,Crius 31x2還配備了自己的高級油門監控（ATS）裝置,可精確控制流程。該機器提供有關腔室溫度、樣品支架內部溫度以及基板加熱和冷卻功率的詳細反饋。CRIUS 31 X 2具有許多功能,使其成為許多用戶的理想選擇。例如，它采用了一種創新的高密度、多區質量數據工具，能夠在晶圓逐個晶圓的基礎上改變區域配置。無功等離子體源具有內置的淬火資產和調光器控制，可主動調節源功率，以適應不同過程的要求。AIXTRON Crius 31x2還具有均勻掃描儀、可編程提升銷和索引器機構，以及大尺寸範圍的感光器。總體而言，AIXTRON CRIUS 31 X2是一個可靠且用途廣泛的反應堆。它有各種各樣的特點，使得它適合一系列的應用和過程。其創新冷卻技術允許低熱預算過程，並為用戶提供溫度和基板加熱和冷卻功率的詳細反饋。憑借這些優勢，Crius 31x2是生產、濺射和蝕刻工藝的絕佳選擇。