二手 AIXTRON Crius 31x2" #293587451 待售
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AIXTRON Crius 31x2是在半導體工業中為生長薄膜和納米結構而設計的下一代反應堆。Crius 31x2利用MOCVD（金屬-有機化學氣相沈積）沈積專門為半導體應用設計的材料層。該反應堆在312nm的波長和高達1000 °C的底物溫度下運行。Ge、Si化合物、P化合物的多重來源在中心反應室中汽化，可以獨立控制。這允許根據用戶規範在高度、密度和厚度上操縱材料層。Crius 31x2反應堆還具有可編程石英電池模塊化加熱設備，可使基材更有效地加熱到指定溫度。該系統有助於減少反應室加熱時間，從而縮短加工周期，提高工藝產率。此外，冷卻裝置和溫度控制風扇有助於保持反應室的溫度一致，最大限度地減少沈積過程中的變化。Crius 31x2配備了先進的射頻電源和反饋機，以優化等離子體均勻性和沈積速率。低壓MOCVD工具具有反應物的儲存和供應功能，可用於連續流動或高達38.4毫升/分鐘的體積。反應堆中包含一個現代的基於Windows的軟件，允許監視、數據記錄和實時控制多個過程參數。Crius 31x2反應堆的最大載荷為31個1英寸底物和一個擴大室，以容納更大的底物。該反應堆耗電量為3kW，尺寸為500 mm H x 610mm W x 1800mm L，重量為350 kg。Crius 31x2是生長半導體薄膜和納米結構的可靠、高效且經濟實惠的選擇。
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