二手 AIXTRON Crius 31x2" #9186414 待售

AIXTRON Crius 31x2是為晶體生長應用而設計的下一代高功率反應堆。它是一個下遊壓板，水平的Czochralski型反應器，采用兩區的坩堝加熱工藝進行晶體生長。該反應堆利用高溫計控制的加熱剖面來調節660至2400 °C的爐溫。這為包括半導體和光學材料在內的各種材料提供了精確的溫度控制。Crius反應堆裝有氣體進氣系統，可以方便地支撐各種惰性氣體或工作氣體。該系統允許根據需要對爐內晶體進行氧化或吸附。此外，反應堆帶有受控的大氣和氮氣凈化能力，使其適合任何生長環境。反應堆包括SCR控制電源，提供高頻性能和低諧波失真，減少波紋和輸入電壓波動，有效電源保持在設定電壓的0.5%以內。該反應器采用全合金材料，包括鋼和不銹鋼，設計時的熱應力最小化，從而延長了使用壽命。Crius反應堆還具有非常低的熱漂移和出色的穩定性，允許低溫控制的應用。此外,Crius 31x2采用模塊化設計,可通過提供監控訪問端口和數據記錄功能,輕松集成各種工藝工具,如原位氣體分析儀、熱成像系統和其他工藝監控工具。該反應堆具有可編程的坡道速率和自動調峰能力，保持精確的溫度輪廓，保證晶體生長具有優異的均勻性和均勻性。Crius 31x2具有寬大的腔室尺寸,具有高材料吞吐量容量,非常適合高產量應用。反應堆包括± 3°C的腔室溫度均勻性和± 0.2°C的溫度穩定性，即使在改變材料載荷或氣體流動時也是如此。它可靠、高效、用戶友好,提供安全的晶體生長環境。