二手 AIXTRON Crius 31x2" #9186418 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種垂直、感應耦合的等離子體反應器，具有31x2英寸的腔室，適合廣泛的工業應用。該設備可用於蝕刻、沈積和其他表面處理過程。它旨在成為那些希望從流程中獲得高質量產品的人的強大而可靠的解決方案。Crius 31x2系統提供了許多適合各種行業和應用的功能。它配備了先進的射頻發生器、氣體註入系統、精確的溫度、壓力和等離子體控制以及先進的晶圓運輸單元。它還具有高級數據記錄和報告功能,可幫助監控和優化制造過程。Crius 31x2具有堅固的腔室設計，允許處理大型晶片和更高的吞吐量速率。它配備了一個標準的8英寸敏感器，如果需要，可以針對更大的晶片進行升級。該機器非常適合需要高精度和重復性的過程，如隕石蝕刻和介電沈積。該工具使用了許多專門的工藝氣體，從標準的蝕刻氣體成分到電介質和貴金屬。氣體通過氣動閥和多端口氣體噴射系統註入腔室，允許精確的氣體控制和計量。室內產生的低壓等離子體使用特殊的射頻發生器維持，允許精確的控制和優越的結果。Crius 31x2配備了先進的晶圓運輸資產，可自動裝卸腔室，有助於加快流程，減少體力勞動。它還配備了專門的壓力控制模型，有助於將腔室壓力保持在恒定水平，提高過程的可重復性。總體而言，AIXTRON Crius 31x2是一款功能強大、可靠的工具，旨在協助制造各行業的優質產品。它提供高精度、重復性、速度和控制,非常適合許多工業應用。