二手 AIXTRON Crius 31x2" #9199511 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種先進的MOCVD（金屬有機化學氣相沈積）反應堆，特別適合於生產LED和激光等光電器件。它是一個AIXTRON Massively Parallel Processing equipment，允許單晶片和批處理操作，配置為300和600 mm晶片。Crius 31x2系統提供了一系列令人印象深刻的功能,包括強大的電子-回旋共振（ECR）等離子體形成,以及獨特的沈積均勻性和外延質量控制配置。它的大型加工室設計為最多可容納三個氣體入口，另有一個遙控器用於氣體混合物或個別氣體，以保持室內清潔和均勻的環境。大面積的腔室還允許更大體積的氣體和更好的氣流。Crius 31x2為優化外延沈積質量提供了兩個截然不同的特征：MESA（宏觀邊緣擴散分析）和SEMPA（空間擴展分子電鍍分析）。MESA單元提供實時原位分析，以確定晶圓邊緣（「宏觀」區域）的沈積非均勻性，而SEMPA則提供了一種在小尺度空間尺度上檢查非均勻性的方法。這兩個系統共同有助於確保外延沈積完全均勻且質量最高。除了增強的沈積質量外,Crius 31x2還提供其他功能,例如優化的基板溫度控制,在全晶片上的溫度均勻度為+/-5°C,峰值溫度可達900 °C。它還配備了遠程直接訪問控制,可確保從任何位置進行可靠可靠的操作。總體而言，AIXTRON Crius 31x2是一款先進的MOCVD機器，非常適合生產高質量的光電器件。其令人印象深刻的一系列特性和功能使其對於單晶片和批處理操作以及各種其他應用程序都非常可靠。