二手 AIXTRON Crius 31x2" #9300899 待售
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AIXTRON Crius 31x2是用於半導體材料外延沈積的邊緣定義膜饋電生長（EFG）反應器。它是一個高吞吐量、經濟高效的沈積平臺，專為生產和研究應用而設計。AIXTRON Crius 31x2反應堆裝有雙面晶片裝載機，可處理多達150毫米（6英寸）晶片尺寸，提高晶片吞吐量。它還可以每邊處理多達八個晶圓，使得周期時間短。AIXTRON Crius 31x2配備了微波輔助沈積（MWAD）設備，用於等離子體生成。這確保了高反應性、低能量、深滲透等離子體場，從而實現高沈積速率和優越的薄膜。高效的MWAD系統使AIXTRON Crius 31x2能夠提供高效且經濟高效的沈積過程。它能夠產生高質量的外延層，具有良好的均勻性和優質基板的階躍覆蓋率。EFG源和基板支架組件的設計便於定制,以滿足特定的客戶需求。源持有者在沈積過程中使用射頻天線優化工藝參數。EFG源可以手動調整，進行精確處理和微調。基板支架采用八元三區目標組件，用於基板的均勻加熱。一種速度可調的排氣裝置，提供了最佳的壓力條件和可控的環境。AIXTRON功能強大的過程控制軟件提供了一個用戶友好的界面，便於設置和監控機器。操作員可以調整氣體流量、功率水平、基板溫度和大氣壓力等參數。該工具提供實時反饋，用於評估和優化外延沈積過程。AIXTRON Crius 31x2是生產先進薄膜結構的可靠高效的沈積平臺。該平臺所啟用的高效射頻增強沈積工藝使其成為工業和研究應用的理想且經濟高效的解決方案。它是一種高效的外延膜生產工具，具有均勻性和極好的階梯覆蓋率。
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