二手 AIXTRON Crius 31x2" #9350512 待售

AIXTRON Crius 31x2是由德國半導體加工專用設備制造商AIXTRON GmbH設計的反應堆。Crius 31x2是一種大功率的石英金屬-有機氣相外延（MOVPE）設備，用於生產先進的半導體和光電材料。它具有垂直和水平氣流的特點，以便能夠沈積大面積的基質。反應堆的特點是通量高，熱梯度低，底物損傷低。Crius 31x2有兩個相同的間歇反應堆，每個反應堆由一個石英生長室、兩個獨立的氣體輸送系統和一個石英基板架組成。生長室直徑為22cm，長度為90 cm，能夠加工兩個直徑達4英寸或3個6英寸的基板。生長室配有AIXTRON CDS500數字系統控制器、CDS600高級工藝控制器和Vital-View3x軟件，能夠精確控制MOVPE增長所需的參數。AIXTRON Crius 31x2為用戶提供了比其他MOVPE系統高得多的高產高級材料沈積。它配有一個特殊的氣體分配單元，在反應堆內保持極低的熱梯度，減少表面和基板的損壞。AIXTRON Crius 31x2已成功用於生產高品質、高性能的復合半導體材料和光電器件，包括LED、激光、光電探測器和太陽能電池。該機還被用於電介質、金屬、合金等薄膜的沈積。總體而言，AIXTRON Crius 31x2是一種先進可靠的MOVPE反應堆，為生產光電器件和其他先進材料提供了優異的性能。高吞吐量、低熱梯度和低基板損壞的結合使用戶能夠生產高質量、高性能的材料。