二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353178 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器。它是工業生產高質量光電材料，如發光二極管（LED）和激光結構的一種廣泛使用的工具。Crius 31x2能夠同時沈積多達兩個不同的III-V材料結構，允許對復雜的多層異質結構進行單晶圓處理。反應堆有幾個不同的成分，包括鎖載室、擴散室和反應室。鎖載室用於將基板（如GaAs基板）轉移到擴散室中。擴散室是一種容器，用於在將底物轉移到反應室前逐漸預熱。反應室是反應堆的主要工作環境。它是一種石英反應管，裝有兩區溫度控制，最多可調節兩種不同的材料過程。Crius 31x2配備了原位計量能力，需要能夠以無損方式測量薄膜厚度、塵埃顆粒和其他相關參數。這允許為特定的材料屬性定制工藝,或確保時間效率高的批量生產。此外，Crius的「31x2」命名法指的是它具有的獨立反應空間的數量：利用兩個IRS，Crius可以同時沈積兩個獨立的反應。Crius 31x2還為用戶提供了可靠的再現結果。它為目標材料的快速增長提供了高度優化的自動化配方,可逐層控制。Crius 31x2的製程室設有專用的供氣歧管和射頻發生器，允許氣體流動和製程條件的彈性增加。反應堆還提供出色的溫度均勻性，溫度範圍為-60°C至700°C。總體而言，AIXTRON Crius 31x2是一種出色、可靠的MOCVD反應器，用於光學半導體和激光元件的工業生產。它為多層異質結構沈積提供了無與倫比的速度和精度，並為可重現和可靠的結果提供了可靠的自動化過程控制。