二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353179 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種先進的、可生產的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器，專門為生產高性能半導體和光電子而設計。它在光電、納米電子、平板顯示器、太陽能電池、MEM和發光二極管（LED）等廣泛的應用領域提供了處理靈活性和卓越的工藝控制。此設備提供了多種功能,旨在優化工藝性能並實現卓越的坡度,達到高產量的生產率。AIXTRON Crius 31x2反應堆中的PECVD過程是基於在高真空中生成等離子體。等離子體用於加熱前體氣體，這些氣體然後一起反應並沈積在基質上。該工藝可用於在25-500 °C的溫度範圍內沈積各種類型的材料，如氧化物、氮化物和金屬。該系統設計有先進的實時過程控制單元，以確保可重復和可靠的沈積過程。這樣就可以優化設計可重復的工藝步驟和準確的工藝監控，以實現所需的沈積特性。AIXTRON Crius 31x2反應堆具有卓越的工藝靈活性,能夠加工直徑達350 mm的基板。該機采用了一種優化的、高可靠性的鐘形源，最多可容納兩個氣源，其設計目的是盡量減少氣儲需求，減少大型晶片生產批次的停機時間。AIXTRON Crius 31x2是一款生產就緒的工具,易於操作,並且需要最少的維護。資產還提供完整的參數集和高級流程控制功能,包括實時流程反饋和數據記錄功能。AIXTRON Crius 31x2具有內置的安全模型,旨在最大程度地減少意外接觸潛在危險材料。這包括多層安全，如多個安全聯鎖，對危險參數的監測，以及在緊急情況下關閉設備的可能性。該系統還具有非常低的振動水平和較低的功耗,以最大程度地降低運行成本。綜上所述，AIXTRON Crius 31x2是一種高性能、生產就緒的PECVD反應堆，旨在滿足光電和半導體行業的需求。它以可靠和安全的方式提供高級流程控制和廣泛的流程功能。AIXTRON Crius 31x2是一款經濟高效的高批量生產運行解決方案,可提供最大的靈活性,以適應各種制造過程。