二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353183 待售

AIXTRON Crius 31x2反應堆是為晶體、復合半導體和LED技術設計的高性能生產設備。它能夠提供強大的工藝控制和統一的生產結果，並能夠使具有p型和n型摻雜劑的較大晶片增長。Crius 31x2非常適合基於SiGe和InGaN的電源設備、OLED等大面積基板和摻雜多epi層。AIXTRON Crius 31x2反應堆是一個單晶片、非保形、磁約束的PECVD室。它將射頻等離子體活化和高效的高頻感應加熱系統結合在一個單元中。該裝置能夠在高達1000 °C的溫度下運行，並提供超低熱應力沈積，這對於提高外延產率和結晶度至關重要。該單元還配備了一臺用於光學測量能力的機器，以產生高度均勻的器件層，並監控腔室條件以進行工藝優化和控制。31x2使用31種預定義的標準配方,用於針對特定應用程序量身定制的各種流程。這些配方預先安裝在設備上,可以根據用戶的特定流程要求進行調整。該單元配備了雙射頻源，可選擇並行、串聯或分頻的射頻影響。這種動態配置允許跨層進行高精度處理和統一。Crius 31x2是一種堅固的生產級工具,可用於電源SiGe設備、LED和OLED晶片以及復合半導體薄膜等應用。其集成的優化能力使其成為具有均勻層和最小熱應力的復合半導體制造的理想選擇。高吞吐量和過程控制使薄膜層的快速生產具有精確的控制,同時最大限度地提高了正常運行時間。