二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353185 待售

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製造商
AIXTRON
模型
Crius 31x2"
ID: 9353185
優質的: 2010
MOCVD System EBARA ESA70WD Pump A200 Scrubber 2010 vintage.
AIXTRON Crius 31x2是一種最先進的化學氣相沈積(CVD)反應器,專門設計用於半導體材料的開發。這座先進的反應堆提供了業界無與倫比的自動化和靈活性的卓越組合。該反應堆基於AIXTRON開發的新型循環沈積沈積(CDD)方法,具有模塊化設計,可實現廣泛的功能。這種多用途的CVD反應堆包含復雜的反應物組合,從而實現了先進的加工能力。可用於光伏(PV)電池沈積、矽外延、薄膜晶體管生產等應用。Crius 31x2采用獨特的腔室設計和結構,能夠在各種基質上實現高效、均勻的沈積。其高性能沈積室能夠承受高達1100 °C的溫度和高達100 mbar的壓力。這種堅固的框架可以極好地控制基板沈積速率和厚度均勻性。為了具有靈活性和易用性,反應堆還采用了自動基板裝載裝置。這種機制允許快速和精確地裝載基板,而無需操作員手動操作腔室或基板。反應堆還包括用於記錄過程參數和分析的數據收集接口。AIXTRON Crius 31x2是一個安全可靠的系統,內建有防止意外超壓和高溫操作的安全電路。它還包含一個強大的等離子體控制模塊,以允許最大限度的控制和精度的等離子體處理。除了令人印象深刻的技術特性外,AIXTRON Crius 31x2極易使用。其用戶友好的操作可實現生產級別的速度以及長期運行,而且維護最少。AIXTRON Crius 31x2憑借其高端功能和卓越性能的最佳組合,絕對能夠滿足任何希望打造非凡半導體器件的專業人士的需求。
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