二手 AIXTRON Crius 31x2" #9380259 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，設計用於研發以及制造復合半導體和光電器件。這類MOCVD平臺設計用於實現對III-V類半導體和II-VI類半導體等多種材料以及有機和無機材料的沈積和外延的精確控制。AIXTRON Crius 31x2具有兩區垂直處理管、兩區感應器和溫度控制系統,溫度控制系統精確到0.01 °C。它具有自動化的過程控制器,可精確控制溫度、壓力和過程參數。它還包括一個觸摸屏顯示屏，允許用戶實時監控和調整不同的流程參數。AIXTRON Crius 31x2還配備了熱過程傳感器，可用於監測反應堆內部的過程。AIXTRON Crius 31x2的沈積速率高達10µm/hr，能夠產生厚度低至10nm的層。也能產生摻雜均勻、粗糙度低、電阻率高的化合物。其定制設計的反應室，旨在允許精確的過程控制，為樣品沈積提供了一個穩定的環境。AIXTRON Crius 31x2配備了先進的可編程工藝室和先進的物料來源，能夠高效準確地控制物料的生長。這些源提供了對溫度、壓力和源基比的精確控制。AIXTRON Crius 31x2也可以配合其他輔助工具使用，例如氣體供應和陰影面罩，用於特定的應用。AIXTRON Crius 31x2旨在在沈積過程中提供最大的用戶安全性和過程兼容性。它的電子系統設計是為了防止錯誤的操作和潛在的錯誤操作，因為不正確的布線。此外,它的自動化流程旨在確保每個流程運行的可重復性,從而實現可重復的流程。AIXTRON Crius 31x2是一個通用、先進的MOCVD平臺，用於研發，使各種材料的沈積得以精確和可重現。其定制設計的反應室、對工藝參數的精確控制以及先進的物料來源，為化合物、光電器件和其他材料系統的沈積和外延提供了高度的控制。