二手 AIXTRON Crius 31x2" #9383394 待售

AIXTRON Crius 31x2是一種商業規模的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器。它是世界領先的垂直2英寸反應堆之一，能夠生產單晶圓200毫米晶圓。該反應堆由半導體和電子工業先進設備的全球領先者AIXTRON制造。Crius 31x2具有分弧式感應線圈、圓形陶瓷crucible、固定雙極射頻發生器和鎖載晶片處理系統。Crius 31x2所使用的感應技術為氮化物和氧化物的沈積提供了優越的均勻性。這種圓形陶瓷熔餅還為薄膜在單層和多層晶片上的均勻沈積提供了更高的熱均勻性。Crius 31x2還配備了溫度控制系統和計算機控制。此特性可實現精確的溫度控制,從而確保最佳的均勻性和沈積結果。該反應堆的壓力控制特性也允許提高產量和減少浪費。此外，反應堆具有高度的自動化，這有助於簡化操作過程並實現更快、更精確的晶圓制造。Crius 31x2由高級不銹鋼製成，使其具有很高的耐腐蝕性和其他類型的環境危害。此外，反應堆還具有出色的隔熱性能，可降低能耗和提高效率。Crius 31x2還配備了尖端的安全功能，確保反應堆對操作管理人員及周圍環境安全。它設有電處理保護門，以防止任何設備損壞，並保證人員的安全。此外,Crius 31x2還設計用於提供具有較長進程運行時間的廣泛應用程序。對於較厚的材料采用較高的沈積率是最有效的，從而實現了更高效的制造工藝。此外，反應堆還配備了很好的工具檢查能力，從而減少了停機時間，減少了診斷和解決技術問題的時間。總體而言，AIXTRON Crius 31x2是一種先進的金屬有機化學氣相沈積反應器，為單層和多層晶片上的薄膜和厚膜制造提供了多種優勢。其先進的技術、卓越的統一性、先進的安全特性和自動化簡化了制造過程，提高了生產率和產量。