二手 AIXTRON Crius 31x2" #9390892 待售

AIXTRON Crius 31x2是為高級半導體研究而設計的最先進的分子束外延（MBE）反應器。具有三室設計、反應性氣源、高性能RF/DC電源和原位診斷系統，提供卓越的工藝控制和表層質量。Crius 31x2有三個室：一個生長室、一個鎖載室和一個蝕刻室。容納基質和射頻源的生長室有3000立方厘米的最大容積，允許更大的材料沈積。該鎖載室用於樣品裝載，並為加工室提供樣品。該蝕刻室用於樣品的蝕刻速率和進一步的樣品清洗。Crius 31x2的綜合反應氣源為限源去除和材料生長提供了高反應性氣體。內置的高性能RF/DC電源可調節輸出,輸出功率高達500瓦,可提供過程均勻性和高epi層質量。原位診斷系統，如橢圓儀、STEM、LEED和RHEED，可以對基板、表層和樣品表征進行在線監測，大大改善了工藝控制。Crius 31x2能夠產生具有從III-V、IV/II-VI到單晶形式寬帶隙材料的各種原理層的表層。它在超高真空條件下運作，以促進原始材料的生長。它還配備了各種技術，如鋅播種、退火和夾層，以進一步提升表層質量。Crius 31x2是一種前沿的MBE反應堆，設計時考慮到了卓越的工藝控制和表層質量。它能夠從III-V、IV/II-VI和寬帶隙材料中產生多種epi層,具有卓越的均勻性、質量和可重復性。是消費電子、汽車、電信等各行業先進半導體研究的寶貴工具。