二手 AIXTRON Crius I #192608 待售

AIXTRON Crius I是用於復合半導體薄膜沈積的多功能外延反應器。是一款300 mm水平冷壁CVD工具，配備LPCVD、PECVD、EPI、MBE等多種工藝技術。Crius I腔室的溫度範圍很廣,允許高溫（HT）沈積高達1000 °C,低溫（LT）沈積降至100 °C。AIXTRON Crius I先進的工藝控制功能可實現精確摻雜劑控制、嚴密溫度控制、精確功率控制以及量身定制的氣體流量。Crius I提供強大的光學監控功能,包括實時膠片厚度和發射率測量,使用戶能夠監控每個工藝層並確保所有膠片均符合最高質量標準。AIXTRON Crius I是一個高度自動化的平臺,使用戶能夠配置和保存會議廳設置以及配方配置文件。Crius還具有其他功能,例如閉環反饋控制、防止等離子弧的故障安全機制,以及允許用戶實時監控過程的視頻設備。Crius I提供跨多個晶片的卓越均勻性,最大非均勻性在基板上小於1%。AIXTRON Crius I也有多個晶圓處理和盒式磁帶的選項，有多個晶圓負載端口用於單個晶圓和盒式磁帶交換的可能性。Crius能夠分批沈積在單個或多個基質上。Crius I具有動態晶片冷卻系統,具有單個或多個冷卻區域,可實現卓越的增長率控制和峰值效率。AIXTRON Crius I還具有集成的裝載機和卸載機,可實現最大的靈活性和生產力。最後，CriusI是一種300 mm的多用途反應器，能夠進行HT和LT沈積。它是一個堅固而精心設計的平臺，確保了摻雜劑控制的精確度和溫度的穩定性，使用戶能夠生產高質量的復合半導體薄膜。AIXTRON Crius I先進的光學監控功能、動態冷卻單元、集成裝卸機使其成為先進復合半導體沈積工藝的絕佳選擇。