二手 AIXTRON Crius I #293586746 待售

AIXTRON Crius I是設計用於薄膜沈積的高通量外延反應器。該反應器配有一個電感耦合等離子體源，該等離子體源提供用於底物蝕刻的氧離子束，以及一個電子回旋共振（ECR）等離子體源，產生用於層生長的高密度等離子體。Crius I的設計允許更大的工藝窗口和提高薄膜的均勻性。AIXTRON Crius I反應堆為用戶提供高性能薄膜沈積，用於各種底物和材料。Crius I靈活的工藝窗口和高通量使用戶可以容納具有挑戰性的基板和材料，如太陽能電池、LED和半導體。AIXTRON Crius I先進的等離子體來源和卓越的材料均勻性提供了卓越的薄膜質量。Crius I有一個loadlock設備，允許用戶快速加載和卸載晶片。晶片通過超高真空和氮氣暴露在它們的環境中，使得在工藝室內保持高質量的真空成為可能。此外，5英寸分段線圈允許等離子體和蝕刻光束的精確定位，提供均勻的薄膜。此外,AIXTRON Crius I還配備了高分辨率端點檢測系統,以確保精確的端點和改進的層均勻性。這個先進的單元為用戶提供了可靠和可重復的結果。此外，Crius I有一個內置的自我診斷機器，允許快速故障排除，並允許用戶輕松檢查反應堆的狀態。總體而言，AIXTRON Crius I是一種強大可靠的薄膜沈積工具。憑借其高性能等離子體源、卓越的薄膜質量以及可靠的端點檢測資產，Crius I為用戶提供了靈活的工藝窗口和卓越的均勻性。